Нитрид титана является тугоплавким соединением с высокой микротвердостью и химической и термической стабильностью. TiN имеет множество применений: в качестве компонента специальных огнеупоров и металлокерамики , в качестве материала для тиглей для бескислородного литья металлов и в качестве прекурсора для износостойкого и декоративного «золотоподобного» покрытия. Исследования сгорания образцов сжатого порошка Ti в азоте показали, что скорость фильтрации азота внутри титана является основным фактором, влияющим на процесс горения. Титановая губка является более чистым, дешевым и более традиционным источником титана, чем титановые порошки. Заказать листы с титановым покрытием можно здесь: https://t2000.ru/. Компания гарантирует качество товара и быстрые сроки его получения.
Материалы на основе нитрида кремния используются во многих элементах памяти и логических устройств, включая диэлектрические изолирующие слои, слои устройств, вкладыши, прокладки, твердые маски травления и ограничители травления. Все эти различные элементы должны иметь высокую однородность / конформность на трехмерных структурах, низкую скорость травления во влажном состоянии и отличные диэлектрические свойства. Новые требования к устройству включают низкотемпературное осаждение, которое невозможно при термических аммиачных процессах.
Материалы из нитрида металла используются во многих элементах памяти и логических устройств, включая контактные барьеры, конденсаторные электроды в DRAM, затворные электроды в CMOS, пассивирующие слои, вкладыши и крышки. Эти различные элементы должны иметь низкое удельное сопротивление, чтобы минимизировать паразитные потери, возникающие при уменьшении размера устройства.
Для оптимизации стека шлюзов исследователи исследуют новые материалы канала с высокой мобильностью, такие как SiGe, Ge и InGaAs, чтобы удовлетворить потребности рынка в более быстрых, небольших и более энергоэффективных электронных устройствах. Электроды TiN и боковые стенки SiN требуют низких тепловых балансов и низкого удельного сопротивления для очень тонких бездефектных пленок.
